Ο καθαρισμός επιφάνειας πλάσματος είναι μια διαδικασία κατά την οποία οι ακαθαρσίες και οι ρύποι της επιφάνειας του δείγματος απομακρύνονται με τη δημιουργία πλάσματος υψηλής ενέργειας από αέρια σωματίδια, σχεδιάστηκε για διάφορες εφαρμογές όπως καθαρισμός επιφανειών, αποστείρωση επιφανειών, ενεργοποίηση επιφανειών, αλλοίωση επιφανειακής ενέργειας. προετοιμασία επιφάνειας για συγκόλληση και πρόσφυση, τροποποίηση χημείας επιφανειών.